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 蒸発器、流量控制器
 
 蒸発器
图片

AS401系列

 电源:230 VAC±10 %, 50/60 Hz, 21A
 气体/液体:
 SiCl4:0.2 ~ 0.3MPa(G)
 N2(for purging):0 ~ 0.1MPa(G)
 Air(AV drive):0.4 -0.7MPa(G)
 Installation:horizontal
 温度:5-45度
 流量:15SLM

 
 流量控制器
 
 
 
   
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