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　蒸発器、流量控制器
 
　蒸発器
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AS401系列

　电源：230 VAC±10 %, 50/60 Hz, 21A
　气体/液体：
　SiCl4：0.2 ～ 0.3MPa(G)
　N2（for purging）：0 ～ 0.1MPa(G)
　Air（AV drive）：0.4 -0.7MPa(G)
　Installation：horizontal
　温度：5-45度
　流量：15SLM
 
　流量控制器
 
 
 
   
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