过滤器
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SCTHF
适用流体：化学溶液 超净水 冷却水 酸溶液 流量范围：0.3～100slm 控制精度：±1%F.S 最高耐压：0.5MPa 使用温度：0 ~ 150 C 口径：1/2" ~ 1/1"
SCTSF
适用流体：化学溶液 超净水 冷却水 酸溶液 流量范围：15～500slm 控制精度：±1%F.S 最高耐压：0.5MPa 使用温度：0 ~ 150 C 口径：1/2" ~ 1/1"
适用流体：化学溶液 超净冷却水 酸液 流量范围：0.3～100slm 控制精度：±1%F.S 最高耐压：0.5MPa 使用温度：0 ~ 150 C 口径：1/2" ~ 1/1"
SCTF
适用流体：化学溶液 超净水 冷却水 酸液 流量范围：0.3～100slm 控制精度：±1%F.S 最高耐压：0.5MPa 使用温度：0 ~ 150 C 口径：1/2" ~ 1/1"
SMFM
适用流体：化学溶液 超净水 冷却水 酸溶液 流量范围：500sccm～10slm 50～100slm 控制精度：±1%F.S 最高耐压：0.5MPa 使用温度：0 ~ 150 C 口径：1/2" ~ 1/1"
SH MFM
SUFM 7220
SUFM 7230
SUFM 7240
4600系列
适用行业：半导体装置 高纯度流体 医疗机械 化学药品 食品相关 涂料等行业 接口类型：配合FLOWELL20、20A系列接头 最高耐压：0.8MPa(1个大气压 25℃条件下) 使用温度：100℃ 口径：6mm~14mm
SANC-PE开关阀
适用行业：半导体装置 高纯度流体 医疗机械 化学药品 食品相关 涂料等行业 操作方式：气动控制 使用压力：in->out 0.3Mpa out-in 0.1Mpa 使用温度：100℃ 口径：1/4 控制口：Rc1/8
SANC-PE旁通阀
